Kontaktlose Temperaturmessung in einem Ladungsträgerteilchenmikroskop

EP3021350 Art B1 26. Februar 2020

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3021350
Aktenzeichen
EP15193787
Anmeldetag
10. November 2015
Veröffentlichung
26. Februar 2020
Erteilung
26. Februar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/20H01J37/244
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Janssen, Francis-Paul FEI Company · Inhouse Eindhoven, Niederlande
266
Patente gesamt
15
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen