Vakuumpumpe, Vakuumzubehör und Dichtung zu dessen Abdichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3026303

Aktenzeichen

EP14195433

Anmeldetag

28. November 2014

Veröffentlichung

6. Januar 2021

Erteilung

6. Januar 2021

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D29/08F16J15/02F16J15/10

Abstract

Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe oder SplitFlow-Pumpe, ist über wenigstens eine Ansaugöffnung mit einem Rezipienten verbindbar und zur Erzeugung eines Drucks kleiner oder gleich 10 -5 mbar, vorzugsweise zur Erzeugung eines Drucks kleiner oder gleich 10 -7 mbar, insbesondere kleiner oder gleich 10 -9 mbar, in dem Rezipienten ausgeführt. Dabei ist zur Abdichtung der Verbindung wenigstens eine Dichtung vorgesehen, die einen Kern, insbesondere einen Elastomerkern, sowie einen Mantel umfasst, der den Kern zumindest teilweise, insbesondere auf dessen der Ansaugöffnung zugewandten Seite, umgibt.

Anmelder

Firma

PFEIFFER VACUUM GMBH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete