Verfahren zum Beladen eines Rohlings aus Quarzglas mit Wasserstoff, Linsenelement und Projektionsobjektiv

EP3027570 Art B1 27. November 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3027570
Aktenzeichen: EP14745102
Anmeldetag: 24. Juli 2014
Veröffentlichung: 27. November 2019
Erteilung: 27. November 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C03B19/06C03B19/09G02B13/14G02B13/16G03F7/20G02B1/02C03C3/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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