Abscheidung mittels Fokussiertem Ionenstrahl

EP3029173 Art B1 14. Juni 2017

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3029173
Aktenzeichen: EP15196604
Anmeldetag: 26. November 2015
Veröffentlichung: 14. Juni 2017
Erteilung: 14. Juni 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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