Vakuumeinrichtung
EP3029324
Art B1
4. Oktober 2017
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3029324
- Aktenzeichen
- EP15197560
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2017
- Erteilung
- 4. Oktober 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04B37/14F04B39/08F04B39/10F04B45/04
Abstract
Eine Vakuumeinrichtung, insbesondere Vakuumpumpe, umfasst wenigstens ein Membranventil, über das ein Medium in einer Saugphase eingesaugt und/oder in einer Kompressionsphase ausgestoßen wird. Das Membranventil ist zur Unterstützung seiner Öffnungs- und/oder Schließbewegung magnetisch, elektromagnetisch, elektrisch oder elektrostatisch beaufschlagbar.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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