Differentielle Verfahren und Vorrichtung zur Metrologie von Halbleiter-Targets
EP3031073
Art B1
22. Mai 2019
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3031073
- Aktenzeichen
- EP14836663
- Anmeldetag
- 11. August 2014
- Veröffentlichung
- 22. Mai 2019
- Erteilung
- 22. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20H01L21/66// G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin