Verfahren und System zur optischen Probenuntersuchung mittels kohärenter Diffraktionsabbildung und vorheriger Kenntnis der Probe
EP3032243
Art A1
15. Juni 2016
Anmelder: Paul Scherrer Institut 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3032243
- Aktenzeichen
- EP14197210
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/956G01N21/84G01N23/205G03F1/00G03F1/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Paul Scherrer Institut
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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