Verminderung der Kritischen Dimensionen in Integrierten Schaltungen

EP3035120 Art B1 27. September 2017

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3035120
Aktenzeichen: EP15201423
Anmeldetag: 18. Dezember 2015
Veröffentlichung: 27. September 2017
Erteilung: 27. September 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G03F7/40H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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