Verfahren zum Maskieren eines Grabenabschnitts

EP3035379 Art B1 1. Juli 2020

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3035379
Aktenzeichen: EP14197994
Anmeldetag: 15. Dezember 2014
Veröffentlichung: 1. Juli 2020
Erteilung: 1. Juli 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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