Programmierbare Abscheidung von Dünnschichten eines Benutzerdefinierten Profils mit Genauigkeit im Nanometerbereich

EP3036048 Art B8 2. April 2025

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System, Board of Regents of the University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3036048
Aktenzeichen: EP14767171
Anmeldetag: 18. August 2014
Veröffentlichung: 2. April 2025
Erteilung: 2. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B05D3/06B05D1/42B05D3/04B05D3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Board of Regents, The University of Texas System
Board of Regents of the University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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