Fehlerstrombegrenzer mit Schneller Schaltung

EP3036810 Art A1 29. Juni 2016

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3036810
Aktenzeichen
EP14838482
Anmeldetag
19. August 2014
Veröffentlichung
29. Juni 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H02H9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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