Verfahren und Vorrichtung zur Echtzeitüberwachung der Plasmaätzgleichmäßigkeit

EP3038132 Art B1 11. März 2020

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3038132
Aktenzeichen: EP14199680
Anmeldetag: 22. Dezember 2014
Veröffentlichung: 11. März 2020
Erteilung: 11. März 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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