Gasspülungsvorrichtung und Gasspülungsverfahren
EP3038147
Art B1
24. März 2021
Anmelder: Murata Machinery, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3038147
- Aktenzeichen
- EP14837431
- Anmeldetag
- 2. Juni 2014
- Veröffentlichung
- 24. März 2021
- Erteilung
- 24. März 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673G03F1/66H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Murata Machinery, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Murata Machinery
Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.
1.507 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Schoppe, Zimmermann, Stöckeler
München, Deutschland
Schoppe, Zimmermann, Stöckeler, Zinkler, Schenk & Partner mbB berät von München aus Unternehmen und Forschungseinrichtungen aus aller Welt, mit technischem Schwerpunkt auf Audio- und Videokodierung, Mobilfunk, künstlicher Intelligenz und Halbleitertechnik.
11.477
Patente gesamt
9
Patentanwälte
1
Standorte