Dünnschichtablösung durch Kombination von Epitaktischer Ablösung und Abplatzen

EP3039708 Art A1 6. Juli 2016

Anmelder: The Regents Of The University Of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3039708
Aktenzeichen: EP14843191
Anmeldetag: 26. August 2014
Veröffentlichung: 6. Juli 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents Of The University Of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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