Vorrichtung und Verfahren zur Durchführung objektfreier Abbildung
EP3040750
Art A1
6. Juli 2016
Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3040750
- Aktenzeichen
- EP14200424
- Anmeldetag
- 29. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 6. Juli 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B6/34// G01N15/14G02B6/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC VZW
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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