LANIO3-Dünnfilm-Formungszusammensetzung sowie Verfahren zur Formung eines LANIO3-Dünnfilms unter Verwendung Dieser Zusammensetzung

EP3041032 Art B1 6. März 2019

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3041032
Aktenzeichen: EP14853724
Anmeldetag: 6. Oktober 2014
Veröffentlichung: 6. März 2019
Erteilung: 6. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/288C01G53/00H01B3/12H01B13/00H01G4/33H01L21/822H01L21/8246H01L27/04H01L27/105H01L41/047H01L41/29H01L41/319

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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