Substrathalterung mit Verbessertem Feststoffgetter

EP3042392 Art A1 13. Juli 2016

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3042392
Aktenzeichen
EP14842511
Anmeldetag
5. September 2014
Veröffentlichung
13. Juli 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673B65D85/38
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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