Rastersonden-Nanolithografiesystem und Verfahren
Anmelder: SwissLitho AG, International Business Machines Corporation 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3047335
- Aktenzeichen
- EP14766179
- Anmeldetag
- 16. September 2014
- Veröffentlichung
- 8. Januar 2020
- Erteilung
- 8. Januar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SwissLitho AG
International Business Machines Corporation - Land
- 🇨🇭 Schweiz
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Fachgebiete
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