Nichtinvasiver Ladungsträgerstrahlmonitor
EP3047502
Art A1
27. Juli 2016
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3047502
- Aktenzeichen
- EP14846116
- Anmeldetag
- 16. September 2014
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/22H01J37/244H01J37/304// H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin