Dummy-Barriereschichtmerkmale zur Strukturierung von Spärlich Verteilten Metalleigenschaften auf der Barriere mit Cmp
EP3047519
Art A1
27. Juli 2016
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3047519
- Aktenzeichen
- EP14846542
- Anmeldetag
- 16. September 2014
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
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16
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FRKelly · Dublin