Halbleitermetrologiesysteme mit mehreren Einfallswinkeln und Verfahren
EP3047520
Art B1
6. November 2019
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3047520
- Aktenzeichen
- EP14843577
- Anmeldetag
- 15. September 2014
- Veröffentlichung
- 6. November 2019
- Erteilung
- 6. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01N21/88G01N21/95G01B11/00G01N21/21G01B11/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin