System zum Polieren eines Substrats

EP3050082 Art B1 5. Mai 2021

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3050082
Aktenzeichen
EP14848991
Anmeldetag
23. September 2014
Veröffentlichung
5. Mai 2021
Erteilung
5. Mai 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/304B24B7/20B24B37/04C09G1/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
3M Innovative Properties Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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