Trocknungsvorrichtung und Trocknungsverfahren

EP3050703 Art A1 3. August 2016

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3050703
Aktenzeichen: EP16152161
Anmeldetag: 21. Januar 2016
Veröffentlichung: 3. August 2016
Rechtsraum: EP
IPC: B32B38/00B32B37/00H01M8/1004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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