Bisaminoalkoxysilanverbindungen und Verfahren zur Verwendung davon zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Filmen

EP3056500 Art B1 30. Januar 2019

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3056500
Aktenzeichen: EP16155509
Anmeldetag: 12. Februar 2016
Veröffentlichung: 30. Januar 2019
Erteilung: 30. Januar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C07F7/18C23C16/00C01B21/082C01B33/18C23C16/30C23C16/455C01B32/90

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

906 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von