Kümpelverringerung Beim Chemisch-Mechanischen Polieren von Wolfram

EP3056553 Art B1 5. September 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3056553
Aktenzeichen: EP16155489
Anmeldetag: 12. Februar 2016
Veröffentlichung: 5. September 2018
Erteilung: 5. September 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02B24B1/00C09G1/04C09K3/14C25F3/30H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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