Kümpelverringerung Beim Chemisch-Mechanischen Polieren von Wolfram

EP3056553 Art B1 5. September 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3056553
Aktenzeichen: EP16155489
Anmeldetag: 12. Februar 2016
Veröffentlichung: 5. September 2018
Erteilung: 5. September 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02B24B1/00C09G1/04C09K3/14C25F3/30H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

1.683 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von