System und Verfahren für Kompressive Rasterelektronenmikroskopie

EP3061118 Art B1 29. September 2021

Anmelder: Lawrence Livermore National Security, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3061118
Aktenzeichen
EP14856144
Anmeldetag
8. Oktober 2014
Veröffentlichung
29. September 2021
Erteilung
29. September 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/26H01J37/28H01J37/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Lawrence Livermore National Security, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lawrence Livermore National Security

Lawrence Livermore National Security ist die Betreibergesellschaft des Lawrence Livermore National Laboratory, eines US-Forschungslabors für nationale Sicherheit und Energie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Fertigungstechnik, ergänzt durch Optik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2002 bis 2025.

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