Direkte Fotostrukturierung von Robusten und Unterschiedlichen Materialien

EP3063592 Art B1 7. April 2021

Anmelder: California Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3063592
Aktenzeichen
EP14857174
Anmeldetag
3. Oktober 2014
Veröffentlichung
7. April 2021
Erteilung
7. April 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004G03F7/029
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
California Institute of Technology
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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