Prozessinduzierte Verzerrungsvorhersage sowie Vorwärtsweiterleitung und Feedback-Korrektur von Überdeckungsfehlern

EP3063785 Art B1 9. Dezember 2020

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3063785
Aktenzeichen
EP14857915
Anmeldetag
29. Oktober 2014
Veröffentlichung
9. Dezember 2020
Erteilung
9. Dezember 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01L21/66C23C14/54G01L5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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