Transistor mit Mis-Anschlüssen, und Herstellungsverfahren

EP3065180 Art B1 28. Juni 2023

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3065180
Aktenzeichen
EP16158279
Anmeldetag
2. März 2016
Veröffentlichung
28. Juni 2023
Erteilung
28. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/08H01L21/285H01L21/768H01L21/336H01L29/417
Offizieller Volltext

Abstract

The invention relates to a field effect transistor, comprising: - a source (131), a drain (132) and a channel (133) formed in a semiconductor layer (130); - a gate stack arranged above the channel (133), comprising a metal electrode (122), a first electrical insulating layer (121) arranged between the metal electrode and the channel (133), and a second electrical insulating layer (123) covering the metal electrode; - a metal contact (141) arranged directly above the source or the drain and at least partially directly above said gate stack; - a third electrical insulating layer (113) arranged between said metal contact and said source (131) or said drain (132).

Anmelder

Firma
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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