Stromlose Metallabscheidung auf einer Mn- oder MnNx-Barriere

EP3067439 Art B1 9. Mai 2018

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3067439
Aktenzeichen: EP15159051
Anmeldetag: 13. März 2015
Veröffentlichung: 9. Mai 2018
Erteilung: 9. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/12C23C18/20H01L23/532H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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