Phasenplatte, Verfahren zur Herstellung davon und Elektronenmikroskop

EP3067912 Art A1 14. September 2016

Anmelder: JEOL LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3067912
Aktenzeichen: EP16159962
Anmeldetag: 11. März 2016
Veröffentlichung: 14. September 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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