Elektronenspektrometer und Messverfahren

EP3067916 Art B1 31. Januar 2018

Anmelder: JEOL LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3067916
Aktenzeichen: EP16159727
Anmeldetag: 10. März 2016
Veröffentlichung: 31. Januar 2018
Erteilung: 31. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/44H01J49/00H01J49/48G01N23/227H01J37/22H01J37/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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