Verfahren zur Herstellung von vertikalen Strukturen in einer Halbleiterzielschicht

EP3067919 Art A1 14. September 2016

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3067919
Aktenzeichen: EP15158703
Anmeldetag: 11. März 2015
Veröffentlichung: 14. September 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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