Intergriertes Supraleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung

EP3069381 Art A2 21. September 2016

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3069381
Aktenzeichen
EP14880450
Anmeldetag
10. November 2014
Veröffentlichung
21. September 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L39/14H01L39/16H01L39/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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