Vorrichtung und Verfahren zur Spektroskopiedurchführung in einem Transmissionmikroskop mit Geladenen Teilchen
EP3070732
Art A1
21. September 2016
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3070732
- Aktenzeichen
- EP15159576
- Anmeldetag
- 18. März 2015
- Veröffentlichung
- 21. September 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/05H01J37/244H01L27/146H01L31/107H04N5/3745
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte