Oberflächenbeschichtung für Kammerbauteilen in Plasmasystemen

EP3071726 Art B1 28. Dezember 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3071726
Aktenzeichen
EP14821909
Anmeldetag
21. November 2014
Veröffentlichung
28. Dezember 2022
Erteilung
28. Dezember 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/06C23C14/08C23C14/35H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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