Verfahren und Vorrichtung zur Substratverarbeitung

EP3073517 Art B1 23. Januar 2019

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3073517
Aktenzeichen: EP16160127
Anmeldetag: 14. März 2016
Veröffentlichung: 23. Januar 2019
Erteilung: 23. Januar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306B08B7/00H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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