Ladungsträgerteilchenstrahlbearbeitungsverfahren mit Prozessgas und Gekühlter Oberfläche
EP3076421
Art A1
5. Oktober 2016
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3076421
- Aktenzeichen
- EP16162513
- Anmeldetag
- 29. März 2016
- Veröffentlichung
- 5. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/305H01J37/317H01J37/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
506 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte