Siliciumnitridfilme, Herstellungsverfahren dafür und Herstellungsvorrichtung dafür

EP3076423 Art A1 5. Oktober 2016

Anmelder: SPP Technologies Co., Ltd., Taiyo Nippon Sanso Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3076423
Aktenzeichen: EP14866390
Anmeldetag: 17. November 2014
Veröffentlichung: 5. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/318C23C16/34H01J37/32C01B21/068

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SPP Technologies Co., Ltd.
Taiyo Nippon Sanso Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von