Flüssiges Medium zur Vermeidung von Aufladung bei einem Elektronischen Mikroskop und Verfahren zur Probenbeobachtung damit

EP3078962 Art B1 27. Juni 2018

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3078962
Aktenzeichen: EP16000833
Anmeldetag: 19. Januar 2007
Veröffentlichung: 27. Juni 2018
Erteilung: 27. Juni 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/225G01N1/28G01N23/04H01J37/20G01N1/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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