Verfahren und Vorrichtungen zur Handhabung von Wafern mit Grossem Durchmesser
EP3082154
Art B1
6. Dezember 2017
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3082154
- Aktenzeichen
- EP16171862
- Anmeldetag
- 13. Januar 2009
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2017
- Erteilung
- 6. Dezember 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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