Verfahren zur Herstellung einer Dichalkogenidschicht eines Übergangsmetalls und Materialien
EP3084033
Art B1
10. Mai 2023
Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3084033
- Aktenzeichen
- EP14815707
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 10. Mai 2023
- Erteilung
- 10. Mai 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/06C23C16/18H01L21/314H01L31/00C23C16/02C23C16/08C23C16/30C23C16/56H01L21/02
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven - Land
- 🇧🇪 Belgien
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