Rauscharmer Sensor und Inspektionssystem mit Rauscharmem Sensor

EP3085077 Art A1 26. Oktober 2016

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3085077
Aktenzeichen
EP14872293
Anmeldetag
18. Dezember 2014
Veröffentlichung
26. Oktober 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H04N5/335G01M11/00H04N5/357H04N5/376
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation

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