Verfahren zur Herstellung eines Rohrförmigen Sputtertargets

EP3085809 Art B1 18. Juli 2018

Anmelder: Materion Advanced Materials Germany GmbH, Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3085809
Aktenzeichen
EP15164260
Anmeldetag
20. April 2015
Veröffentlichung
18. Juli 2018
Erteilung
18. Juli 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C23C4/18C22F1/16H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Materion Advanced Materials Germany GmbH
Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Heraeus Deutschland

Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Hanau. Heraeus entwickelt Materialien und Lösungen in den Bereichen Edelmetalle, Sensorik, Medizintechnik und Werkstofftechnik.

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