Verfahren zur Hotspot-Detektion und Einstufung einer Lithografischen Maske

EP3086175 Art B1 26. Januar 2022

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3086175
Aktenzeichen: EP15164693
Anmeldetag: 22. April 2015
Veröffentlichung: 26. Januar 2022
Erteilung: 26. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/84G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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