Chemisch-Mechanische Kupferplanarisierung mit Niedrigem Auftischen

EP3088486 Art B1 15. Juni 2022

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3088486
Aktenzeichen: EP16152648
Anmeldetag: 25. Januar 2016
Veröffentlichung: 15. Juni 2022
Erteilung: 15. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C09K3/14H01L21/321C09G1/02B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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