Verfahren zur Erfassung einer Feinen Geometrie

EP3089193 Art A1 2. November 2016

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3089193
Aktenzeichen
EP16172147
Anmeldetag
10. September 2002
Veröffentlichung
2. November 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/244H01J37/28H01J37/285G01N21/95G03F1/84
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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