Kathodenanordnung, Elektronenkanone und Lithografiesystem mit Solch einer Elektronenkanone
EP3090439
Art B1
24. Juni 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Mapper Lithography IP B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3090439
- Aktenzeichen
- EP14825336
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2020
- Erteilung
- 24. Juni 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J3/02H01J37/063H01J1/28H01J1/46H01J37/07H01J37/075H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Mapper Lithography IP B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven