Adaptive Abtastung zur Messung der Partikelgrösse unter Verwendung von Ausgerichteter Strahlsignalanalyse
EP3091558
Art B1
22. November 2017
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3091558
- Aktenzeichen
- EP16167122
- Anmeldetag
- 26. April 2016
- Veröffentlichung
- 22. November 2017
- Erteilung
- 22. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven