Extrem-Ultraviolett (euv)-Inspektionssysteme

EP3092657 Art A1 16. November 2016

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3092657
Aktenzeichen: EP15735212
Anmeldetag: 7. Januar 2015
Veröffentlichung: 16. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027H01L21/66G03F1/00G03F7/20G02B17/06G01J1/04G01N21/956G01N21/33G01J1/42

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland

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Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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